“神光”實驗室的無塵車間里，氣氛凝重得仿佛能滴出水來。

一張巨大的工程圖紙鋪在桌面上，上面密密麻麻地畫滿了復雜的機械結構和運動軌跡。

范·德·維爾指著圖紙中央，眉頭緊鎖：“李，你看這里。雙工件臺的核心邏輯，就是這兩個平臺的高速交換。一個在曝光位，一個在預處理位。它們需要在短短幾秒鐘內完成位置互換，不僅速度要快，而且精度必須控制在納米級！”

他頓了頓，語氣中帶著一絲無奈：“在asml，我們嘗試過用高精度的氣浮導軌，但機械結構的慣性和摩擦力始終是個大問題。一旦速度過快，微小的震動就會毀掉整個曝光過程。這就像是讓兩頭大象在鋼絲繩上跳舞，還要保證不碰到對方，太難了。”

李曉宇看著圖紙，沉思良久。他知道，這是光刻機從“能用”到“高產”的關鍵一躍。

如果沿用傳統的機械導軌，哪怕做到極致，也依然無法擺脫物理摩擦的桎梏。

“既然地上跑不快，那我們就讓它……飛起來。”

李曉宇忽然抬起頭，眼中閃爍著異樣的光芒。

“范先生，如果我們將導軌徹底扔掉呢？”

他拿起一支筆，在圖紙上畫了一個懸浮的方塊。

“平面磁懸浮驅動技術（planarmagiclevitation）！”

“磁懸浮？”范·德·維爾瞪大了眼睛，仿佛在聽天方夜譚，“你是說像磁懸浮列車那樣？但這可是在納米精度的光刻機里啊！電磁場的波動怎么控制？熱量怎么散發？”

“用‘女媧’來控制！”李曉宇自信地說道，“我們已經在‘昆侖’上驗證了主動磁懸浮軸承的可行性。現在，我們只需要把這個技術平面化、放大化！”

他迅速在白板上勾勒出了系統架構：底座鋪設海爾貝克陣列（halbacharray）永磁體，工件臺底部安裝多組高精度的線圈。通過林濤團隊開發的超高速實時算法，精確控制每一個線圈的電流大小和方向，產生可控的洛倫茲力，讓工件臺在六個自由度上實現無接觸的懸浮和驅動！

“沒有摩擦，沒有磨損，沒有機械間隙！”李曉宇的聲音充滿了感染力，“這將是真正的‘零摩擦’運動，理論上的極限速度和精度，將只受限于我們的控制算法和傳感器靈敏度！”

這個大膽到近乎瘋狂的構想，讓范·德·維爾徹底呆住了。他在asml工作了半輩子，見過的最激進的方案也不過是氣浮，而這個中國人，竟然想直接跨越到磁懸浮！

“這……這太瘋狂了。”他喃喃自語，但眼中的光芒卻越來越亮，“但如果真的能實現，這將是對現有光刻機架構的徹底顛覆！”

與此同時，在隔壁的光源實驗室，張承平院士也面臨著巨大的挑戰。

要實現0.25微米工藝，光源波長必須縮短到248納米（krf準分子激光）。

“這種激光器太嬌氣了！”一位老專家抱怨道，“氟氣具有極強的腐蝕性，腔體壽命是個大問題。而且，單腔結構的能量輸出很不穩定，稍微加點功率，線寬就飄了。”

李曉宇來到實驗室，看著那臺正在測試的激光器，腦海中浮現出了后世cymer公司的經典設計。

“單腔不行，那就雙腔。”

他在圖紙上畫了兩個串聯的腔體。

“pa（主振蕩功率放大）結構！”

“第一個腔體做‘種子源’，只負責產生高質量、窄線寬的小功率種子光。第二個腔體做‘放大器’，只負責把這個種子光進行能量放大。”

“各司其職，互不干擾！這樣既能保證光束質量，又能大幅提升輸出功率和壽命！”

這就是“極光之源”！