他在鏡筒的內壁,設計了一圈微小的,如同彈簧般的“柔性鉸鏈”結構。
“我們利用金屬的微小彈性變形,來吸收和補償裝配誤差。就像我們古建筑里的榫卯結構,看似松動,實則穩固,且能自動適應應力變化。”
“這叫——柔性支撐技術!”
賀云飛看著那個巧妙的設計,眼睛瞬間亮了!
“妙!太妙了!以柔克剛,化整為零!我怎么就沒想到!”
經過改進后的鏡筒,再次進行裝配。
這一次,奇跡發生了。
當最后一片透鏡安裝到位,干涉儀上的波面圖,呈現出了完美的同心圓!像差,被成功控制在了衍射極限以內!
第一套合格的投影物鏡系統,終于組裝完成!
所有的拼圖,終于湊齊。
在一個激動人心的夜晚,“神光一號”光刻機的主機,第一次被完整地組裝了起來。
光源系統啟動,深紫色的紫外光,經過勻光系統,穿過掩膜版,進入了那套昂貴的物鏡系統。
在“女媧”系統的精準控制下,在“龍淵”工件臺的平穩移動中。
那束光,最終,精準地聚焦在了一片,涂滿了“影青一號”光刻膠的硅片之上。
曝光!顯影!
當那片硅片,被放到高倍電子顯微鏡下時。
賀云飛,這位為中國光刻機事業奮斗了半輩子的老人,顫抖著手,調節著焦距。
視野逐漸清晰。
一條條,邊緣銳利,線條筆直,寬度只有0.8微米的電路圖案,如同大地上的溝壑,清晰地,展現在了他的眼前!
沒有斷裂,沒有毛刺,沒有粘連!
完美!
賀云飛猛地抬起頭,淚水,早已模糊了他的雙眼。
他看著身邊的李曉宇,看著周圍那些同樣激動得泣不成聲的年輕人們,用一種,仿佛用盡了全身力氣的聲音,顫抖著說道:
“我們……看見了……”
“我們看見了,微觀世界的……長城!”
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